无移动零件小型泵的预设和PIV技能的流动监测
微泵流量特性理论分析微泵进出阀口为特殊管道结构，如所示，该双环形管道具有特殊流动特性。从A流向B为正流，从B流向A为反流。不可压流体在管道流动时，压力损失有如下关系：正流，反流压力损失分别为$pd=12EdQv2d（1）$po=12EoQv2o（2）其中：pd为正流压力损失；Ed为正流压力损失系数；vd为正流速率；Q为工作液体密度。po为反流压力损失；Eo为反流压力损失系数；vo为反流速率。由于驱动力作用，泵腔体体积发生周期性变化，设腔体体积瞬时值为Vt=V0sinXt+Vi（5）其中：Vi为腔体原始体积；Vo为体积变化幅值；X为驱动力频率表达项；周期T=2PX.
微管道、微泵二维数值模拟，微管道二维数值模拟利用Fluent商业软件，对Tesla阀管道进行二维数值模拟。为正反流Tesla管道的迹线图。可以看出，反流的管道产生更多涡结构。是不同进出口压力差下正流反流的流量比较图，可以看出，随着正反流管道两端压力差的增大，正反流流量特性的差异也变大。是不同Re数下正流反流的进出口压差特性比较，可以看出随着Re数变大，正反压力差差距也变大，体现出特殊管道的性质。
不同管道结构微泵二维数值模拟利用流体分离特性，进一步研究了在微泵中起单向阀作用的几种管道的特性，并且对管道进行优选。是不同泵腔进出口连接管道的结构示意图。在同样激励条件下，无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量。给出相同驱动情况下8种微泵二维数值模拟结果。横轴为泵工作时间，纵轴为流量。其中负值流量表示流体流出微泵。在一个周期中，出口流量平均值都为负值，表明几种管道的微泵都可以实现工作原理。根据数值模拟结果，出、入口带楔形管的微泵也是本类型微泵，参（g）、（h），可输运液体。
首先在硅片上图形化一层150mm厚的SU-8胶，形成模具，1；将PDMS倒在SU-8上并加热使之凝固，揭下PDMS层；在另外一块硅片上甩一层PDMS的薄膜，将薄膜覆盖到之前的PDMS上，形成泵腔和管道。工艺条件：采用日本信越公司的KE103，PDMS与凝固剂的体积比为10B1，在室温下放置10h以上完全固化，或是在85e下加热15min以后固化。
实际微泵测试实验采用微PIV粒子成像技术，测量微泵流量及流场性质。实验装置如3.微泵进出口接有毫米量级管道，在上游储有液体。泵驱动采用压点膜片致振。示踪粒子采用直径1Lm荧光粒子，用连续汞灯光源激发荧光粒子发光，高速时使用双脉冲激光器。对捕捉的泵工作状态图像采用互相关算法，计算得到流体速度和泵流量。4为微泵c的10倍物镜拍摄粒子图像；5为微泵c的20倍物镜拍摄粒子图像；6为微泵c出口不同时间下粒子图像。
结论通过实验，微泵工作性能良好。可以通过改变输入信号频率控制流量。实现工作频率在6002000Hz下，微泵流量0.010.1LLPs.用微PIV粒子成像技术测量了微泵流场特性及流量。微泵起单向阀作用的特殊管道部分没有可移动部件，大大延长了泵的使用寿命，便于一体化加工。微泵材料采用PDMS，材料价格低。综合考虑，微泵具有寿命长、可控性好、价格低廉等优点。